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MICCURACY機(jī)型

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· MCCURACY機(jī)器X 軸和Z軸主要采用白色氧化鋁陶瓷
· 采用方形結(jié)構(gòu)的主軸、和全包圍式的氣浮軸承
· 測量精度和測量行程范圍
產(chǎn)品詳情

MICCURACY行程

Accuracy 精度（使用SP80 & SP25時）

1000

1600

800

1.5+L/300

2.0um @50s

1000

2100

800

1.5+L/300

2.0um @50s

1200

1600

1000

1.9+L/300

2.9um @50s

1200

2600

1000

2.0+L/300

3.5um @50s



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MICCURACY機(jī)型
MICCURACY機(jī)型
MICCURACY機(jī)型
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· MCCURACY機(jī)器X 軸和Z軸主要采用白色氧化鋁陶瓷
· 采用方形結(jié)構(gòu)的主軸、和全包圍式的氣浮軸承
· 測量精度和測量行程范圍
18616827610
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MICCURACY行程

Accuracy 精度（使用SP80 & SP25時）

1000

1600

800

1.5+L/300

2.0um @50s

1000

2100

800

1.5+L/300

2.0um @50s

1200

1600

1000

1.9+L/300

2.9um @50s

1200

2600

1000

2.0+L/300

3.5um @50s



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