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LCCURACY機型

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· LCCURACY機器X 軸和Z軸主要采用硬質(zhì)氧化鋁(鋁合金)
· 采用方形結(jié)構(gòu)的主軸、和全包圍式的氣浮軸承
· 測量精度和測量行程范圍
產(chǎn)品詳情

LCCURACY 行程

Accuracy 精度(使用SP80 & SP25時)

1600

2600

1200

2.5+L/300

3.0um @50s

2000

3000

1600

3.0+L/300

3.2um @60s

2500

3200

1800

3.2+L/300

3.2um @60s

3000

4200

2000

4.0+L/300

4.0um @60s

3000

5000

2000

4.9+L/300

4.9um @60s

LCCURACY機型LCCURACY機型LCCURACY機型LCCURACY機型LCCURACY機型
LCCURACY機型
LCCURACY機型
LCCURACY機型
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· LCCURACY機器X 軸和Z軸主要采用硬質(zhì)氧化鋁(鋁合金)
· 采用方形結(jié)構(gòu)的主軸、和全包圍式的氣浮軸承
· 測量精度和測量行程范圍
18616827610
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LCCURACY 行程

Accuracy 精度(使用SP80 & SP25時)

1600

2600

1200

2.5+L/300

3.0um @50s

2000

3000

1600

3.0+L/300

3.2um @60s

2500

3200

1800

3.2+L/300

3.2um @60s

3000

4200

2000

4.0+L/300

4.0um @60s

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